【什么是石墨舟】石墨舟是一种在高温环境下使用的工业设备，广泛应用于半导体、光伏、电子材料等制造领域。它主要用于承载和运输硅片、玻璃基板或其他热敏材料，在高温炉中进行热处理、退火或沉积等工艺过程。由于其优异的耐高温性能和化学稳定性，石墨舟成为许多高温工艺中不可或缺的工具。
一、石墨舟的基本介绍
| 项目 | 内容 |
| 定义 | 一种由石墨材料制成的容器或支架，用于在高温环境中承载和运输材料 |
| 材料 | 石墨（通常为高纯度石墨） |
| 用途 | 半导体、光伏、电子材料制造中的高温处理 |
| 特点 | 耐高温、化学稳定性强、热膨胀系数低 |
二、石墨舟的主要特点
1. 耐高温性
石墨舟能够在1600℃以上的高温环境下稳定工作，适用于多种高温工艺。
2. 化学稳定性
在高温下不易与大多数化学物质发生反应，适合用于氧化、还原等复杂环境。
3. 热传导性能好
石墨具有良好的导热性能，有助于均匀加热被处理材料。
4. 轻质耐用
相对于金属材料，石墨舟更轻便，同时具备较长的使用寿命。
5. 热膨胀系数低
在温度变化时，石墨舟的尺寸变化较小，有利于保持加工精度。
三、石墨舟的应用场景
| 应用领域 | 具体用途 |
| 半导体制造 | 承载硅片进行退火、扩散等工艺 |
| 光伏产业 | 支撑硅片进行沉积或热处理 |
| 电子材料 | 用于薄膜沉积、热处理等工序 |
| 精密陶瓷 | 在高温烧结过程中作为载体 |
四、石墨舟的分类
| 类型 | 特点 |
| 普通石墨舟 | 适用于一般高温环境，成本较低 |
| 高纯石墨舟 | 含杂质少，适合对纯度要求高的应用 |
| 复合石墨舟 | 结合其他材料增强性能，如抗氧化涂层 |
五、石墨舟的维护与保养
- 清洁：定期清理表面残留物，防止污染后续工艺。
- 检查：定期检查是否有裂纹或变形，确保使用安全。
- 储存：避免潮湿环境，防止石墨吸湿导致性能下降。
总结
石墨舟作为一种高性能的高温承载工具，在现代工业中扮演着重要角色。它不仅具备优良的物理和化学性能，还能适应多种复杂的工艺需求。随着半导体和新能源产业的快速发展，石墨舟的应用范围也在不断扩大。合理选择和维护石墨舟，是保障生产质量和效率的重要环节。